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抵抗加熱

抵抗加熱とは

真空蒸着の一般的な方法です。
まず電気を発熱源(蒸着源)に流すことによって、発熱させ、その熱により金属(蒸着物)を熱し、気化または昇華させる方法を、抵抗加熱と呼びます。

電気抵抗による加熱(抵抗加熱)を用いた真空蒸着技術 電気抵抗による加熱(抵抗加熱)を用いた真空蒸着技術

また抵抗加熱の応用例として、電子ビームによって金属(蒸着物)を発熱し、気化または昇華させる方法もあります。

電子ビームを応用した加熱を用いた真空蒸着技術 電子ビームを応用した加熱を用いた真空蒸着技術

抵抗加熱の利点

電気抵抗による加熱だけでなく、電子ビームによる加熱によって、単層膜から多層膜まで応用できます。
ほかの方法に比べて、さまざまな蒸着物(金属)を利用できます。
小さく細かい基板でも、蒸着できます。
蒸着物の量が少なくても蒸着できます。
小ロットも、量産も対応できます。
比較的安価に蒸着できます。

四階調のグラデーションを蒸着した蒸着例 四階調のグラデーションを蒸着した蒸着例1
四階調のグラデーションを蒸着した蒸着例2

主な応用製品

めがね・カメラのレンズ
NDフィルター(減光フィルター)
カラーフィルター(RGBフィルター)
マルチコート(反射防止膜)
クローム基板
アルミ基板
アルミミラー
ハーフミラー
など

抵抗加熱(電子ビーム)蒸着 - サンプル

多層膜電子ビームによるリフレクター 多層膜電子ビームによるリフレクター
多層膜電子ビームによるハーフミラー 多層膜電子ビームによるハーフミラー

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