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第1回 薄膜とは
第2回 薄膜のつくり方の原理
第3回 真空とは
第4回 真空の利点
第5回 薄膜の吸着
第6回 薄膜の成長
第7回 薄膜と応力
第8回 薄膜と電気抵抗
第9回 薄膜と抵抗温度係数
第10回 薄膜基板の前処理
第11回 薄膜の強度

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フィルムマスク

フィルムマスクの特徴

精度が粗い(20μm±2μm以上)パターンで利用することが多いです。
軽量で柔軟性があるため、取り扱いが容易です。
厚みが薄いため、主にパターンの保存用に使われる(場所をとりません)。
※他のフォトマスク技術に比べて安価に製造可能だが、使用耐久性の面で劣るため、小ロット生産などに利用されます。

関連技術

グラデーションサーキュラー

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