電子化学 - 真空蒸着 スパッタリング フォトエッチング フォトマスク 最新情報 - 真空蒸着 スパッタリング フォトエッチング フォトマスク 製品・技術情報 - 真空蒸着 スパッタリング フォトエッチング フォトマスク 企業情報 - 真空蒸着 スパッタリング フォトエッチング フォトマスク フィルム 関連企業 - 真空蒸着 スパッタリング フォトエッチング フォトマスク フィルム お問い合わせ - 真空蒸着 スパッタリング フォトエッチング フォトマスク サイトマップ - 真空蒸着 スパッタリング フォトエッチング フォトマスク
> トップページ

> 薄膜技術入門講座
第1回 薄膜とは
第2回 薄膜のつくり方の原理
第3回 真空とは
第4回 真空の利点
第5回 薄膜の吸着
第6回 薄膜の成長
第7回 薄膜と応力
第8回 薄膜と電気抵抗
第9回 薄膜と抵抗温度係数
第10回 薄膜基板の前処理
第11回 薄膜の強度

> 4月アクセスランキング
1位スパッタリング
2位企業概要
3位真空蒸着メッキ
4位薄膜とは - 薄膜技術入門講座 -
5位薄膜のつくり方の原理 - 薄膜技術入門講座 -

RSS - スパッタリング 真空蒸着 フォトエッチング フォトマスク 金属蒸着 

薄膜と電気抵抗 - 薄膜技術入門講座 第8回 -

電気抵抗とは

薄膜技術入門講座も細々と8回目を迎えます。
少なくとも書いている僕の頭では、少しずつ内容が難しくなっているような気がします。
気のせいですか?
ならいいです・・・、僕個人の頭の出来の問題なので・・・。
まぁ、とにかくみなさんが話題についてきてくれていればうれしいです。

今日は薄膜と電気抵抗の関係についてみていきます。

ところで根本的な質問なのですが、電気抵抗とは何でしょう?
現象としては分かっていても、原理は結構知りませんよね?
ね?

えっ、知ってる・・・。
まぁそういわずに、こういうとき大人は知らないと話をあわせるものですよ。

そう、みなさん知らないですよね。
では、どういうことなのかを簡単に見ていきましょう。

電気は一般的に金属の中を流れます。
金属は当然原子が結びついて出来ているのですが、金属の中には、自由に動き回れる電子(自由電子)というものが存在しています。
この金属に電圧をかけると、自由電子が動き、これが電流となって電気伝導が行われるわけです。
しかし自由電子が動くうちに、金属の原子と衝突することがあります。
このような自由電子の動きを制限する衝突を電気抵抗といいます。
つまり自由電子が金属原子と衝突する割合が高ければ高いほど、電気抵抗は大きくなるというわけです。

薄膜の電気抵抗の特性

このように見ていくと、自由電子は金属の分子の隙間を原子とぶつかりながら動くことが分かると思います。
しかし薄膜は非常に薄いので、まず自由電子が自由に動ける空間自体が非常に狭くなります。
以前説明したとおり、薄膜の厚さは原子の大きさの数百〜数千倍ですから、分子レベルで言うと薄いところで数十個ほどの金属分子の隙間を自由電子は流れなくてはいけなくなります。
なので、原理的に薄膜の電気抵抗は、通常の金属片に比べて大きくなります。

また薄膜の成長でも見たとおり、薄膜は一般に核と核とが結ばれる形で出来ていて(核成長)、薄膜の密度などにどうしてもムラが出来てしまいます。
なので、薄膜が薄ければ薄いほど、自由電子は核の部分をたどらなければ流れることが出来なくなり、電気抵抗は大きくなります。
ただ真空蒸着スパッタリングでは、一般にスパッタリングのほうが核と核が接近しているため、電気抵抗は小さくなる傾向があります。

<< 薄膜と応力 | 薄膜と抵抗温度係数 >>

トップページ最新情報製品・技術情報企業情報関連企業お問い合わせサイトマップ
copyright by 株式会社電子化学 all rights reserved.