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第4回 真空の利点
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第6回 薄膜の成長
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第8回 薄膜と電気抵抗
第9回 薄膜と抵抗温度係数
第10回 薄膜基板の前処理
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薄膜とは - 薄膜技術入門講座 第1回 -

薄膜とは

みなさん、薄膜という言葉を聞いたことがありますか?
もしかすると、あまりなじみのない言葉かもしれません。
漢字からして、どうせ薄い膜なんだろうと思った、あなた。
そうは世の中甘くない・・・。
・・・
・・・
正解・・・で・・・す・・・。
あっ、ちょっと待ってください。
ここで、なんだそんなことかと思って帰らないでください。
ただの薄い膜じゃないんですってば。
これから、数回にわたって当社が得意としております薄膜技術についてできるだけやさしく解説していこうと思っております。
不定期な連載ですが、どうぞお付き合いください。

薄膜の厚さ

薄いといっても、いったいどのくらいの薄さだと思いますか?
薄膜とは、主に厚さが5μm(ミクロンメートル)以下の膜のことを言います。
ナノテクノロジーという言葉もありますが、まさにnm(ナノメートル)レベルの技術なのです。
当社で扱っております薄膜は、nmよりさらに小さいÅ(オングストローム)という精度の薄さになります。
オングストローム?なんて単位あまり聞いたことありませんよね?
薄膜の厚さなどを計測するのに用いる値で、19世紀に活躍したスウェーデンの物理学者アンデルス・オングストローム博士の名前からつけられた名前です。
定義としては難しい単位なのですが、実用としては1000万分の1mm(ミリメートル)という単位で用いられます。
有名な単位と比べると10分の1nm(ナノメートル)となります。

1Å=0.1nm=0.0001μm=0.0000001mm=0.0000000001m(10-10m)

そうです、今もてはやされているナノテクノロジーレベルの薄膜を取り扱っていることになります。
なんかとても想像できませんが、もしエベレストの高さが1mmくらいの大きさだと仮定すると、砂粒がちょうど1Åくらいの大きさになります。
精度として、まさにナノテクノロジーレベルの誤差の範囲での成膜が求められているわけです。
実際の薄膜は数百〜数千Åですが、原子の大きさが、だいたい1Å(オングストローム)程度なので、その薄さには驚かされます。
結構すごい世界ですね。

薄膜の特徴

そのあまりの薄さから、薄膜はそれ自体のみでは存在することができません。
じゃぁ、どうやって存在しているのかというと、主に基材もしくは基盤上に付着する形で存在することができるのです。
なので薄膜の性質は、その薄膜が付着している基材や基盤の素材の性質に大きく左右されることになります。
薄膜の変わった性質に関しては、今後じっくり見ていくことになります。
今回は、ここまで。
では、次回までごきげんよう。

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